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高純氦氣選專用氣體閥門
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高純氦氣設備選擇，使用高純氦氣時，要確保連接的管道、閥門和用氣設備具有良好的氣密性。高純氦氣管道可采用不銹鋼材質的無縫管，閥門應選用高精度、密封性能好的專用氣體閥門。
高純氦氣用氣設備在使用前要進行嚴格的氣密性檢查和清洗，以去除可能存在的雜質和水分。
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