‌    高純氦氣技術(shù)路徑選擇與工藝優(yōu)化，高純氦氣（純度≥99.999%）量產(chǎn)依賴高效提純工藝，主流方法包括‌低溫深冷法‌、‌膜分離法‌和‌變壓吸附法‌。中小型高純氦氣企業(yè)可優(yōu)先采用‌膜分離與變壓吸附（PSA）組合工藝‌，因其設(shè)備投資較低且適合中等規(guī)模生產(chǎn)。同時(shí)，高純氦氣廠家需重點(diǎn)攻克‌雜質(zhì)精準(zhǔn)控制‌環(huán)節(jié)，比如采用在線氣相色譜監(jiān)控減少人為誤差，需參考低溫精制裝置設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，提升氖氣分離效率。文章來源：高純氦氣http://www.fgh168.com