‌    工業氦氣低溫分離技術原理與核心工藝，該類裝置主要采用低溫精餾和深低溫吸附兩種工藝。工業氦氣低溫精餾通過深低溫精餾塔實現，原料氣在極低溫度下液化，利用氦與其他組分（如氖、甲烷）沸點差異，在塔 內多層塔板或填料上進行多次部分冷凝與蒸發，從而分離出高純氦氣。工業氦氣深低溫吸附則采用中低壓工藝，結合高比表面 積吸附劑，在液氮溫區（-196℃）選擇性脫除雜質，有些將氖氣濃度降至4ppm以下，產品純度可達99.999%以上。‌文章來源：工業氦氣http://www.fgh168.com